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Core Facility "Fertigungstechnik"

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Restschichtfreie Wellenleiter mit Bragg-Gitter Herstellung durch Nanolithografie auf Folien für Sensoranwendungen (BG Periode: 205 nm,
Wellenleiter Breite: 2 µm, Wellenleiter Höhe: 2,4 µm)
© CF 2

 

Fertigungstechnik für bioinspirierte Materialien mit Schwerpunkten auf Nanolithografie-, Folien- und 3D-Druck-Technologien

  • Zur Unterstützung der Forschungsprojekte im FIT wird eine leistungsstarke Core Facility für die funktionale Formgebung und effiziente Fertigung von (Mikro-)Systemen und adaptiven bioinspirierten Werkstoffen geschaffen.
  • Insbesondere gilt es, die Methoden zur Realisierung von Nanometerstrukturen mittels der Elektronenstrahllithographie und der UV-NIL (UV-Nanoimprint-Lithographie) und die Methoden zur Realisierung von Mikrometerstrukturen mittels der HE-NIL (Hot-Embossing-Nanoimprint-Lithographie) und 3D-Druck Technologie für unterschiedliche Anwendungen auf Folien spezifisch angepasst bereitzustellen und weiter zu entwickeln.
  • Wissenschaftlicher Leiter: Prof. Dr. Claas Müller
  • Verantwortliche Managerin: Dr. Jing Becker

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